Metodu u Proċess ta' Tgħaqqid Dirett Wejfer taż-Żaffir Għal Struttura sensittiva għall-Pressjoni taż-Żaffir

1. L-invenzjoni preżenti tappartjeni għall-qasam tekniku tat-teknoloġija mems, b'mod partikolari għal metodu għat-twaħħil dirett ta 'wejfers taż-żaffir ta' struttura sensittiva għall-pressjoni taż-żaffir.

Teknika tal-isfond:

2. It-temperatura operattiva tas-sensuri tal-pressjoni tas-semikondutturi tradizzjonali hija ġeneralment taħt is-600 grad. It-temperatura operattiva massima tas-sensor tal-pressjoni piezoresistive sic hija 600 grad, it-temperatura operattiva massima tas-senser tal-pressjoni soi hija taħt il-500 grad, u t-temperatura operattiva massima tas-sensor tal-pressjoni tas-silikon-żaffir. Temperatura 350 grad. Is-sensuri tal-pressjoni elettrika huma diffiċli biex jiġu applikati f'ambjenti ta 'temperatura ogħla.

3. Fil-preżent, prodotti tas-sensorju tal-pressjoni tal-fibra ottika bbażati fuq laqx taż-żaffir dehru barra, bħas-sensor tal-pressjoni tal-fibra ottika wave-phire dpt950 tal-kumpanija British oxsensis, it-temperatura massima tax-xogħol tista 'tilħaq 600 grad , u t-tarf ta' quddiem tas-sonda jista 'jilħaq 1000 grad. Madankollu, ir-riżultati tar-riċerka tas-sensuri tal-pressjoni tal-fibra ottika bbażati fuq ċipep taż-żaffir ma ġewx irrappurtati fiċ-Ċina. Id-dokument tal-privattiva Ċiniż cn103234673 jiżvela struttura mikro-nano tas-senser tal-pressjoni reżistenti għat-temperatura għolja, li tinkludi: dijaframma tal-karbur tas-silikon, film li jirrifletti, film semi-riflettiv, saff li jgħaqqad, sottostrat tal-karbur tas-silikon, saff ta 'inkapsulament u żaffir fibra ottika; il-film li jirrifletti huwa miksi fuq Fin-nofs tad-dijaframma tal-karbur tas-silikon, il-film semi-riflettiv huwa miksi fuq it-tarf tal-fibra taż-żaffir, is-saff tal-irbit (dijossidu tas-silikon) jinsab bejn id-dijaframma tal-karbur tas-silikon u s-sottostrat tal-karbur tas-silikon, u l-fibra taż-żaffir hija konnessa mas-sottostrat tal-karbur tas-silikon permezz tas-saff ta 'inkapsulament (kolla taċ-ċeramika ta' temperatura għolja). Il-proċess ta 'preparazzjoni tas-sensor tal-pressjoni ta' hawn fuq huwa li jifforma kavità ta 'interferenza Fabry-Parot billi tuża film li jirrifletti miksi fuq dijaframma tal-karbur tas-silikon u film semi-riflettiv miksi fuq it-tarf ta' fibra ottika taż-żaffir biex tirrealizza skoperta ta 'pressjoni f'livell għoli. ambjent tat-temperatura.

4. Fil-preżent, il-proċess ta 'twaħħil dirett taż-żaffir domestiku (wejfer-livell) għadu fl-istadju teoretiku ta' riċerka, u għad m'hemm l-ebda teknoloġija ta 'proċess ta' twaħħil dirett ta 'wejfer taż-żaffir (wejfer-level) matur. Fiċ-Ċina, it-twaħħil fil-livell tal-wejfer huwa ġeneralment immirat lejn materjali bbażati fuq is-silikon, u t-temperatura tat-twaħħil hija taħt il-500 grad, bħal twaħħil silikon-silikon, twaħħil anodiku silikon-ħġieġ, eċċ Id-dokument tal-privattiva Ċiniż cn 105236350 a jiżvela twaħħil dirett metodu għal ċipep sensittivi għall-pressjoni taż-żaffir, it-temperatura biss hija 1350 grad, l-ebda kontroll tal-pressjoni (pressjoni) matul il-proċess tat-twaħħil, u l-ebda kontroll tal-akkoppjar tat-temperatura u l-pressjoni.

Ikkuntatjana:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: flimkien ma' 86-755-23699351

Mob: flimkien ma' 8618666663894